
多角度透/反射测试设备
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本设备运用先进的光学原理进行高精度检测。光源通过光纤传输,经过物镜汇聚于样品上实现高效的透/反射过程,透/反射光被积分球接收,光谱仪迅速捕捉光信号。 设备内置精密算法,不仅能够快速、准确地计算出 T% & R%,还能同步完成色坐标与涂层厚度的精确测量, 为材料光学特性分析、涂层质量管控等多领域应用提供一站式精准数据支持。

T40 & R40 测试工站
(添加偏振片)机制

T0 测试工站

R10 测试工站
(余弦探头替换积分球)机制
- 独特的反射率/透射率校准算法
- 提供了不同孔径光斑测量(最小1mm)
- 宽光谱覆盖,适配多种材料测试
- 内置环境传感器,确保测试条件的一致性
- 非接触无损光学检测,保护样本
- 高精度步进电机,微米级调整精度
- 采集快,重复性高,高速获取数据
- 集T%/R%/颜色/涂层厚度等多样化测试功能
- 紧凑抗振设计,复杂环境稳定运行
- 模块化集成,便捷维护、升级拓展
- 支持多格式数据导出,便于报告生成与分析
- 智能自评结果,自动对齐测试位,可视化界面简单易用

- 1. 精准检测平面光学材料,涵盖盖板玻璃、晶圆、玻璃窗、滤光片等的 T% & R% 检验。
- 2. 适合光学镀膜的厚度测量,对硬质涂层、AR 涂层等多种类型均可精准测定。
- 3. 实现多角度 T%/R% 测试,包含 0°、40°、45°、65°(选配)入射角的 T% 测试,以及 8°(选配)、10°、40°、45° 入射角的 R% 测试。




说明:
在检测光学涂层厚度时,运用已建立的颜色坐标和膜厚之间的模型和算法来实现高精度测量。为满足测试需求,测试模块的结构需相应调整。
在原有反射测量结构基础上,为了过滤玻璃反射光(如测试膜层厚度光路示意图光线 2),需将接收端改为物镜加余弦探头来接收反射光。

测试膜层厚度光路示意图

机台测试涂层厚度机制图