硅光晶圆自动化检测仪

一键完成高准确度全面硅光晶圆光电测试

此检测设备为一键式解决方案,以高准确度完成硅光晶圆的全面光电测试
关键测试项目:全面覆盖所有无源和有源光子器件,例如:波导器件,调制器和光电探测器测试方案

应用背景

硅光晶圆开发和生产领域及激光二极管晶圆级光电测试

产品亮点

应用效果

技术背景

测试方案:
测试仪器
高性能可调谐激光器,高灵敏度快速响应光功率计和模块化光源测量装置
光电接口
新型设计的光纤阵列和校准系统用作光学输入/输出,将激光输入/输出与波导设备耦合。气动共面探针同时满足供电和测试两项功能要求。
全自动化测试
高稳定性工作平台和高精度机械定位系统,加载万能调准功能,确保所有测试全自动完成

技术优势

  • 1

    高度定制化:通过模块化设计和用户定义的顺序,满足广泛晶圆测试需求

  • 2

    高精度定位:定制化高精度成像系统加载专利设计的晶圆位置标记

  • 3

    高稳定性:抗振系统设计,确保稳定光耦合和高准确度光电测试

  • 4

    新颖的工作模块和测试头设计:配有一体化治具的光纤阵列式光学输入/输出、探针式电气输入/输出

  • 5

    支持各种无源和有源光子器件测试

  • 6

    高性能全自动化检测方案:一键完成高准确度全面硅光晶圆光电测试

参数列表

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